一种旁热式气敏元件的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体器件,尤其涉及一种旁热式气敏元件。
【背景技术】
[0002]半导体传感器以其易于实现集成化,微型化、灵敏度高等诸多优点,一直引起世界各国科学家的重视和兴趣。由于电子技术的飞速发展,以半导体传感器为代表的各种固态传感器相继问世。这类传感器主要是以半导体为敏感材料,在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化,通过检测这些物理特性的变化,即可反映被测参数值。它与各种结构型传感器相比,具有如下特点:由于传感器原理是基于物理变化的,因而没有相对运动部件,可以做到结构简单,微型化;灵敏度高,动态性能好,输出为电量;采用半导体为敏感材料容易实现传感器集成化,智能化;功耗低,安全可靠。
[0003]目前以半导体为基础材料的气敏元件已相当成熟,但仍然存在结构复杂、稳定性较差的问题。

【发明内容】

[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好的旁热式气敏元件。
[0005]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种旁热式气敏元件,包括陶瓷绝缘管,所述陶瓷绝缘管内壁涂有烧结体,所述陶瓷绝缘管中设置有加热器,所述加热器两端分别设置有第一引出电极、第二引出电极,所述第一引出电极、第二引出电极分别从陶瓷绝缘体两端穿出,所述陶瓷绝缘体一端上设置有第一测量电极、第二测量电极。
[0006]当加热器对烧结体进行加热,所述烧结体产生多孔结构,用于对气体的吸附和释放,当烧结体吸附或释放气体时,烧结体质量和导电率会发生改变,根据气体浓度的变化,烧结体导电率发生相应变化,从而作为测定量对气体进行检测。
[0007]在上述技术方案的基础上,本发明还可以做如下改进。
[0008]进一步,所述烧结体为多孔二氧化钛材料,所述二氧化钛材料为多孔半导体材料,加热时容易产生表面积较大的多孔结构,有利于气体的吸收或释放。
[0009]进一步,所述第一测量电极为梳状金电极,所述梳状金电极导电性强有利于电信号的收集与输出。
[0010]进一步,所述第二测量电极为圆环碳电极,所述圆环碳电极导电强、内耗低,降低了对检测信号的干扰,同时碳电极环保无污染。
[0011]本发明的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好。
【附图说明】
[0012]图1为本发明一种旁热式气敏元件结构示意图;
[0013]附图中,各标号所代表的部件列表如下:1、陶瓷绝缘体,2、烧结体,3、第一引出电极,4、第二引出电极,5、第一测量电极,6、加热器,7、第二测量电极。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
[0015]如图1所示,一种旁热式气敏元件,包括陶瓷绝缘管1,所述陶瓷绝缘管I内壁涂有烧结体2,所述陶瓷绝缘管I中设置有加热器6,所述加热器6两端分别设置有第一引出电极3、第二引出电极4,所述第一引出电极3、第二引出电极4分别从陶瓷绝缘体I两端穿出,所述陶瓷绝缘体I 一端上设置有第一测量电极5、第二测量电极7。
[0016]当加热器6对烧结体2进行加热,所述烧结体2产生多孔结构,用于对气体的吸附和释放,当烧结体2吸附或释放气体时,烧结体2质量和导电率会发生改变,根据气体浓度的变化,烧结体2导电率发生相应变化,从而作为测定量对气体进行检测。
[0017]所述烧结体2为多孔二氧化钛材料,所述二氧化钛材料为多孔半导体材料,加热时容易产生表面积较大的多孔结构,有利于气体的吸收或释放;所述第一测量电极5为梳状金电极,所述梳状金电极导电性强有利于电信号的收集与输出;所述第二测量电极7为圆环碳电极,所述圆环碳电极导电强、内耗低,降低了对检测信号的干扰,同时碳电极环保无污染。
[0018]以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.本发明涉及一种旁热式气敏元件,其特征在于,包括陶瓷绝缘管,所述陶瓷绝缘管内壁涂有烧结体,所述陶瓷绝缘管中设置有加热器,所述加热器两端分别设置有第一引出电极、第二引出电极,所述第一引出电极、第二引出电极分别从陶瓷绝缘体两端穿出,所述陶瓷绝缘体一端上设置有第一测量电极、第二测量电极。
2.根据权利要求1所述一种旁热式气敏元件,其特征在于,所述烧结体为多孔二氧化钛材料。
3.根据权利要求1所述一种旁热式气敏元件,其特征在于,所述第一测量电极为梳状金电极。
4.根据权利要求1所述一种旁热式气敏元件,其特征在于,所述第二测量电极为圆环碳电极。
【专利摘要】本发明涉及一种旁热式气敏元件,包括陶瓷绝缘管,所述陶瓷绝缘管内壁涂有烧结体,所述陶瓷绝缘管中设置有加热器,所述加热器两端分别设置有第一引出电极、第二引出电极,所述第一引出电极、第二引出电极分别从陶瓷绝缘体两端穿出,所述陶瓷绝缘体一端上设置有第一测量电极、第二测量电极。本发明结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好。
【IPC分类】G01N27-04
【公开号】CN104569072
【申请号】CN201410522869
【发明人】李 杰
【申请人】重庆泽嘉机械有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年9月30日

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